展示会情報

「線」ではなく「面」での搬送ができるXYZ軸からなる3軸構成のガントリーユニット

PBA社にてダイレクトドライブモータとベースまですべての設計から組み立てまで対応いたします。

• ワンストップソリューションでお客様装置のベース部を提供
• エアベアリング駆動を搭載した超精密位置決め仕様あり

下記アプリケーションにてご使用いただけます。

＜ アプリケーション ＞

• 半導体露光、検査装置
• ガラス基板エッチング
• ウエハダイシング
• AOI検査装置
• 高速ピックアンドプレース
• レーザー切断
• 燃料電池製造

紹介動画

高精度・高速・高加速度対応

コンパクトなダイレクトドライブ

PLA リニアアクチュエータ　商品ページ

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速度リップルを抑えた高速コアレスリニアモータ「DX F」シリーズ

• 軽量で優れた精度を実現
• ゼロバックラッシ
• 安定した動作と高い応答性、素早い加速と減速が可能
• 高応答性 どんな動きに対してもすぐに安定

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高速、高推力ダイレクトドライブモータ　コア付きリニアモータ「PIX B」シリーズ

• 高電力密度
• スムーズな操作を実現するアンチコギングデザイン
  ※PBA 特許取得
• ゼロバックラッシ-ダイレクトドライブ技術
• 高速・高加速・高速応答

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NEW！

高分解能、高速、長い測定長に対応
新しいインクリメンタルリニアエンコーダ

取り付け角度の許容値が大きいため簡単な取り付けが可能。

測定分解能 : 最小25nm (TTLにて)
最高速度　 : 10m/min (分解能 5μmにて)、
　　　　　　2.4m/s (分解能 0.1μmにて)
測定長　　 : 最長 30,040mm

制限された空間に最適な最小断面積モデル

高精度と高速用途のための非接触オープンリニアエンコーダ。
熱でテープが剥がれない用途に。

測定長 (mm)：50mm (*) インクリメントで70mm～3,020mm

(*)その他の長さについてはお問合せください。

長尺測定のためのガイド付きモデル

高精度と高速用途のための非接触オープンリニアエンコーダ

測定長 (mm)：100mm (*) インクリメントで240mm～3,040mmが利用可能。

(*)その他の長さについてはお問合せください。

より長い測定長のためのテンション付きモデル

高精度と高速用途のための非接触オープンリニアエンコーダ

測定長 (mm)：100 mm (*) インクリメントで140mm～3,040mmが 利用可能。

(*)その他の長さについてはお問合せください。

スムーズで確実な位置制御を実現

リーダーヘッドと目盛が刻まれたステンレス鋼リングの2つのコンポーネントで構成されます。
エンコーダーは非接触で、部品間にシールがないため、モーターは回転を開始するために高いトルクを必要としません。

• モジュール式システムにより、エンコーダが1つのシステムに統合されている他のソリューションと比較して、必要に応じて迅速かつ簡単なメンテナンスが可能。
• 特許取得済みの「3STATECHテクノロジー」を備えた唯一のアブソリュートトラック。 機械の電源投入後、軸を動かさずにすぐに原点復帰します。
• CNCシステムとの優れた機能により、スムーズで確実な位置制御を実現。